技術名稱 埃米(Å)世代超薄型抗腐蝕二維材料薄膜高靈敏氣體感測器
計畫單位 國立清華大學
計畫主持人 闕郁倫
技術簡介
本技術開發低溫電漿輔助硒硫化技術成長二維材料應用於高靈敏氣體感測元件,克服二維材料目前高溫成長,具備半導體標準製程、可大面積製備和厚度與晶相可調性等優勢,實現對特定氣體分子高度選擇性感測應用,其中腐蝕敏感性及毒化效應之氣體如H2S、NH3等呈現出更強的抗腐蝕性和材料穩定性。
科學突破性
腐蝕性氣體在許多工業領域應用廣泛,但現有感測器面臨壽命短、維護成本高等挑戰。本技術利用低溫電漿輔助硒硫化合成的新型二維感測薄膜,具備出色的抗腐蝕特性,能在長時間腐蝕環境中保持穩定且具高靈敏度和選擇性。此外,團隊技術能實現大面積、均勻性及層數控制的二維材料成長,顯著降低生產成本並提高性能穩定性。
產業應用性
團隊致力於高靈敏度、高穩定性的抗腐蝕性氣體感測器,初期目標為半導體工廠監測有毒氣體洩漏,提升安全性和生產效率。中長期目標為智慧城市試點,應用於智慧廁所和下水道系統,實現智能化管理。長期目標為長期照護領域,感測器嵌入老人尿布,實時監測濕度和異味,減少皮膚刺激和感染風險,提升護理效率。
關鍵字 二維材料 低溫電漿輔助硒硫化製程 腐蝕性氣體監測 ppb級氣體感測 多合一氣體偵測 可攜式氣體感測器 低功耗 大面積製程 智慧城市 長期照護
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  • 郭姿妏