技術名稱 | 半導體式二維材料高靈敏氣體感測晶片 | ||
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計畫單位 | 國立清華大學 | ||
計畫主持人 | 闕郁倫 | ||
技術簡介 | 團隊開發針對不同氣體可調變參數的電漿輔助硒化設備。此技術具備低溫製程、大面積製備和可調性等優勢,確保感測器性能一致。透過調整反應條件和參數,能精確控制硒化過程,改變材料結構和性質,滿足特定應用需求。該技術的發展和應用將推動氣體感測器領域的研究與應用,提供高性能感測器檢測和監測環境、安全和醫療等氣體。 |
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科學突破性 | 本團隊的電漿輔助硒化技術在二維材料氣體感測器領域取得重大突破,全球首創實現了二維材料低溫大面積製備量產,提高了感測材料靈敏度和選擇性,解決了多項傳統金屬氧化物氣體感測之技術痛點。該技術可成功應用於4吋和8吋晶圓的生產,成本低廉。這項突破性技術為氣體感測器的應用帶來了革命性進展,具有廣闊的前景和潛力。 |
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產業應用性 | 二維材料有獨特硒化技術在氣體感測器研究除了目前氮氧化物(NOx)氣體除了可用在室外空氣品質檢測以外可擴充其它產業如工業領域氣體檢測氨氣、硫化氫;室內空氣品質檢測甲醛與一氧化碳;汽車領域可以檢測一氧化碳與酒精;穿戴式領域可以檢測身體健康指標氣體如一氧化碳、丙酮、氨氣、乙醇。 |
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媒合需求 | 氣體感測相關廠商 |
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關鍵字 | 次世代氣體感測器 二 維材料 過渡金屬硫族化物 氣體感測器 電阻式氣體感測器 穿戴式裝置 AQI |