技術名稱 成長於低阻SiC基板上之常關型p-GaN HEMT利用AlGaN cap層實現高閘極可靠度表現
計畫單位 長庚大學
計畫主持人 邱顯欽
技術簡介
本團隊在低阻值且零度角度的SiC基板上成長p-GaN HEMT,並且利用寬能隙材料AlGaN做為蓋帽層,藉此可以有效抑制電洞注入,達到提升閘極可靠度的目的。另外,本團隊選用零度角以及低阻值的SiC基板,除了可以大幅減少異質接面造成的晶格錯位缺陷之外,同時也大幅降低了整體成本。
科學突破性
在此研究中,AlGaN cap以及零度角度且低阻值SiC基板都是首次被應用在p-GaN HEMT,而本團隊更是將兩者結合,成功開發出全新的高壓、高穩定性的p-GaN HEMT結構。
產業應用性
本團隊將AlGaN磊晶於p-GaN層上方,使閘極偏壓範圍20V,期望可以共用傳統矽元件的閘極驅動器,並且同時增加了閘極的操作安全電壓。另外,本團隊也將p-GaN HEMT磊晶於低阻值且零度角度的SiC基板上,使GaN on SiC元件在緩衝層的位置能夠有較低的晶格缺陷密度,並且也有較低的價格。
媒合需求
天使投資人、策略合作夥伴
關鍵字 P型氮化鎵 高電子遷移率電晶體 低阻值SiC基板 晶格匹配 導熱係數 低成本 閘極可靠度 閘極開啟電壓
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  • 邱顯欽
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