"清華大學光電工程研究所副教授陳明彰等人組成研究團隊與美、中、
西等國際團隊合作，近期突破學界多年來的瓶頸，成功創造出體積小卻更亮、更短脈衝的極紫外光(EUV)，且能任意調變偏振，能看見奈米級的微影世界，將加速半導體及生醫領域的奈米等級研究，其中高亮度的13.5nm的光源，正是下一世代半導體產業重要

陳明彰教授實驗室，偶然將光圈置放於高次諧波實驗前方，竟發現只要調整光圈大小，就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長，突破了傳統高次諧波的能量極限，讓18奈米的光子數增強了4百倍。加強供給紅外光本是負效應，光圈用來控制散焦，原來也是個負效應，「但兩個負面效應碰在一起，居然負負得正，成為美麗的巧合。」

「桌上型極紫外光」光源的應用層面將十分廣泛，包括半導體產業的研發、檢測、製程，生醫界也可以此看到更微小的疾病細胞。