技術名稱 | 高熵合金薄膜電阻材料 | ||
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計畫單位 | 國立屏東科技大學 | ||
計畫主持人 | 李英杰 | ||
技術簡介 | 薄膜電阻主要要求為高電阻率, 低電阻溫度係數(TCR,±50 ppm)及電阻值精確度(±0.1 %);為符合此規格,薄膜組成為設計重點,本技術以Ni-Cr-Mn-Y-Ln製備薄膜合金電阻,也已獲得台灣發明專利(I525196, I612538, I641001 )及美國專利(US 10,121,575 B2)。 |
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科學突破性 | 薄膜電阻合金(五元高熵合金)介紹:一種薄膜電阻高熵合金(五元)包含:以原子百分比計為38~60%的鎳、10~25%的鉻、3~10%的錳、4~18%的釔及1~36%的鑭系元素。本技術薄膜電阻合金得以在低溫度電阻係數下,大幅提高其電阻率,以達到增加該薄膜電阻合金的應用性之功效。 |
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產業應用性 | 全球每年薄膜電阻的使用量較厚膜電阻少,但因產品價格也是倍數之差(毛利可高2~3倍),故若以總產值計算,薄膜市場不可輕忽。 |
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關鍵字 | 薄膜電阻 高熵合金 電阻率 電阻溫度係數 鎳鉻錳釔合金 濺鍍 5元合金靶材 晶片電阻 薄膜製程 雷射切割 |