本技術利用有機金屬化學氣相沉積系統在藍寶石基板上生長尖晶石薄膜，此一製程可達量產製作生產此感測薄膜，此一尖晶石薄膜可以簡易製程即可製作成氣體感測器，並可將一加熱器製作於其周圍。此一尖晶石金屬氧化物為目前唯一可感測一氧化氮之金屬氧化物薄膜。研究發現尖晶石薄膜製作而成的氣體感測器僅針對NO氣體有極佳反應與極高選擇性，藉由適當之電極設計，當通入NO氣體時，此一電極量測之電阻即會發生變化，並結合電路之讀取訊號，可將量測之訊號藉由藍芽傳遞到收發設備，再透過4G網路上傳至雲端，即便在惡劣環境量測，仍可於安全之場所接收到訊號。
此外，本技術更提出將加熱器製作於感測器同一平面，並配合絕熱封裝，加熱器可瞬間將感測器升溫至300°C，有助於氣體感測器之感測能力有所提升，此一設計相較於傳統微機電式懸空氣體感測器將具更簡易製程且機械結構更為堅固，更可應用於高溫之惡劣環境進行監測。

1. 具特殊表面結構之薄膜型且堅固之NO氣體感測器。
2. 此感測器具低功率之加熱器設計且具耐高溫的特性。
3. 同時兼具便於攜帶以及耐高溫與隔熱設計，使其更能勝任置放於各種環境。
4. 非懸浮式感測器，機械結構更堅固。
5. 搭配獨特之電路設計，藉由電路串聯與量測分壓變化，可即時反應NO之濃度。

近年來，物聯網以及空氣汙染課題備受重視。若能改善檢測儀器高製作成本, 體積龐大且昂貴的問題，就能對環境與人體健康提供更好的監測與保護。本技術所提供之感測器兼具體積小又耐高溫，是此感測器突出的亮點。相信未來物聯網時代，就需要此類產品。此外。本感測器也可用於醫療用途之檢測。如氣喘患者之監控與健康照顧。

NARL-AQI-108-006 (子計畫編號)