本發明係為型具複合層低濃度氣體偵測器，包含：氣體偵測器晶片，其多層膜感測材料背部為一中空結構，感測材料下有一絕緣層，感測材料周圍有一微型加熱器，感測材料附著在感測電極上，膜感測材料為一複合氧化物半導體為主的感測膜；一複合氧化物半導體厚度0.1~2um，可加上奈米金屬(1-500nm)催化在氧化物半導體層表面，反應層是凹凸表面，絕緣層係一低應力絕緣膜，電極是可形狀改變；經由本發明創作之低濃度氣體偵測器結構，提供矽基板上完成微機電(MEMS)結構，並可整合在穿戴式裝置內。預期可利用範圍及產品，主要結合物聯網感測器應用。市場分析國內外針對CO或CO2感測器皆採電化學或光學方式進行，所需體積與能量較高。本研究利用MEMS技術配合複合結構，可達到微小化與省電的目的研究最佳結果，於一定功率180 mW條件下，電阻式微型二氧化碳氣體感測器之靈敏度於2400 ppm氣體濃度條件下為26.58 %。我們也藉由德製商用Testo二氧化碳氣體感測器校正，得到接近相符趨勢。此外利用奈米金的添加，測量CO濃度可測至10ppm之水準元件已製作完成，符合室內空氣品質標準，但由於氣體樣品校正及取得的測量已完成。在氣體感測元件與物聯網感測器的整合方面，氣體感測元件的氣體濃度皆可透過物聯網模組直接上傳到網路上，並由手機APP讀取其結果並顯示，當室內空氣品質超過法定之標準時，APP會給予警示告知使用者。

1. 微機電技術(微縮)：感測晶片微縮至針孔大小、微加熱區只有一根頭髮寬度
2. 低應力薄膜及微加熱器技術(加溫快速)：加熱到320℃只需毫秒(ms)時間
3. 奈米技術(省電)：提高反應靈敏度使元件更低耗能。

氣體偵測器，提高靈敏度，微型化