超高真空提供兆(萬億)分之一大氣壓的極低氣壓真空環境，其腔體內外須維持無油潔淨之表面，採用無油酒精CNC銑床精密加工可使表面自然生成低碳的鋁氧化層，為完全無廢酸鹼污染之潔淨環保製程。開發大型鋁合金鍍膜超高真空系統採用菱形墊圈結合平面法蘭之設計，可使用非圓形之特殊截面形狀法蘭彈性應用於非標準客製化產品。

利用無油酒精CNC精密加工技術加工鋁合金真空腔及各式真空元件，可使表面自然生成潔淨低碳的鋁氧化層，直接銲接組裝抽真空烘烤後即可達到極低表面釋氣率的超高真空度。同時創新菱形墊圈結合平面法蘭之設計，取代傳統刀口法蘭的真空密封方式。此菱形墊圈可為非圓形之截面，配合真空腔體直接加工非圓形無刀口法蘭的製造運用

大型鋁合金超高真空腔系統可應用於各式高功率加速器設施，以及半導體製程、光電製程、太陽能面板與平面顯示器等產業，極低釋氣的超高真空系統將可減低鍍膜製程中的參雜分子吸附殘留污染。而鋁合金真空腔體配合無刀口法蘭與菱形墊圈密封方式，再結合無油CNC精密加工，將可大幅提升真空系統性能可靠度和降低造價。