兩階段真空蒸鍍製程，先在腔體A蒸鍍上電洞傳輸層以及第一個前驅物材料，接著轉移到腔體B讓兩個前驅物材料進行化學反應，藉由精細的控制腔體B的環境壓力來調整兩前驅物的反應速度。最後形成平整的鈣鈦礦薄膜，並再轉移回腔體A，蒸鍍後續的電子傳輸層以及金屬電極，完成全真空蒸鍍鈣鈦礦太陽能電池。

本技術突破了傳統溶液製程法製備鈣鈦礦薄膜，使用全真空蒸鍍製作鈣鈦礦薄膜，減少有毒溶劑的使用。因使用全真空蒸鍍製程，可以製作出大面積且均勻的鈣鈦礦薄膜。也因不需要後續熱處理，可以製作在軟性基板上形成可撓性鈣鈦礦太陽能電池。

目前有機光電產業皆大量使用真空蒸鍍機台製作產品，而本技術全使用真空蒸鍍法製作鈣鈦礦太陽能電池，因此與目前產業的技術與機台相互整合是相對容易的，大量減少危害溶劑的使用與處理。可大面積製作，也可與可撓性基板整合製作出穿戴式元件。甚至具備室內環境下良好表現，可作為物聯網的能源供應。