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- 晶圓級氣體感測器高效能點測系統
| 技術名稱 | 晶圓級氣體感測器高效能點測系統 | ||
|---|---|---|---|
| 計畫單位 | 財團法人國家實驗研究院 | ||
| 計畫主持人 | 陳峰志 | ||
| 技術簡介 | 系統設備為整合光機電與真空系統技術，開發出於晶圓狀態可進行氣體感測器晶粒之高效能電性量測，於封裝前確認感測器功能，並篩除性能不合格的晶粒，可提高生產效能與產品競爭力。點測效能為現有市售設備的10倍以上 | ||
| 市場潛力分析 | 1. 點測機台的整體效能為市面上現有機台的 30 倍以上。 2. 可適用於多種成分氣體感測器的開發。 3. 在晶圓階段進行晶粒電性量測，可早期篩檢出性能不佳的晶粒。 4. 可大幅加速檢測過程，以提升感測器開發速度，及產品生產效能與競爭力。 | ||
| 產業應用性 | 可提供在晶圓狀態進行氣體感測器晶粒的功能與性能量測，無需封裝方可判定感測器優劣，開發試驗週期可大幅縮短。在生產應用上，於晶圓階段即可篩除性能不合格的晶粒，避免其進入封裝製程造成資源浪費，可有效的提高產 | ||
| 關鍵字 | 高效能點測系統 晶圓級氣體感測器 線陣列探針卡 自動光學對位 整合加熱裝置之晶圓吸盤 波紋管 量測氣體供應系統 真空腔系統 精密定位移動平台 光機電與真空技術系統整合 | ||
| 備註 | 2 | ||
- 聯絡人
- 陳慧穎
- 電子信箱
- gloria@narlabs.org.tw
