技術名稱 | 具磁性與高強度之微晶粒發光二極體與轉移方式 | ||
---|---|---|---|
計畫單位 | 國立交通大學 | ||
計畫主持人 | 洪瑞華 | ||
技術簡介 | 本技術提供一製作具磁性且機械強度夠強之薄型microLED, 將LED磊晶膜移轉至一特殊之超薄且具磁性之複合金屬基板,可製作成一薄膜型發光二極體, 此外, 此一金屬基板為複合金屬基板, 主要為Cu/NiFe/Cu組合而成, 完成元件製程後, 切割道部分可用化學蝕刻方式將此金屬基板移除, 進而製作成microLED。又因此基板具磁性, 可以磁性進行巨量轉移。 |
||
科學突破性 | (1)以金屬之熱脹冷縮特性研製可調整熱膨脹係數之複合金屬基板。 |
||
產業應用性 | (1)可製作成極微型之microLED, 也可利用此一磁性進行巨量轉移, 製作成microLED顯示器。 |
||
關鍵字 | 微型發光二極體 功率型發光二極體 顯示器 磁性 巨量轉移 微型發光二極體顯示器 銅/鎳鐵/銅複合性金屬基板 磊晶膜轉移技術 選擇性化學蝕刻技術 晶圓接合 |