| 技術名稱 |
無人載具高靈敏度壓電加速規之開發&具有逐漸趨近式類比數位轉換器之壓電加速規讀取電路 |
| 計畫單位 |
國立成功大學 |
| 計畫主持人 |
朱聖緣/張順志 |
| 技術簡介 |
本團隊自行研發無鉛壓電材料，並結合MEMS製程技術，成功開發無鉛壓電MEMS加速規，該元件藉由震動使壓電薄膜產生形變，進而產生電荷，再由電荷輸出量推算加速度。後端電路SAR ADC之輸入訊號為電壓，因此必須將加速規產生的電荷轉換成電壓訊號，採用transresistance將其轉換成電壓訊號，再送進 |
| 科學突破性 |
本團隊在壓電材料合成、壓電加速規與後端感測電與SAR ADC製作技術於國內居領先地位。在國內能同時具備此三種能力的研究團隊非常稀少，在國內研究中實屬不易。此外，本團隊透過材料摻雜技術，成功研發出高壓電特性之無鉛壓電材料，該壓電特性領先世界同材料之研究。可針對無人載具與智慧機械之應用情境，調配出適合的 |
| 產業應用性 |
微機電感測器具有性能均一、成本便宜、可批次生產等特點，不僅適合普及應用在數量龐大的消費性電子產業，未來也必然將成為物聯網感測應用市場上的營收亮點。MEMS感測器目前是市場規模最大者，仍是慣性感測器，其應用極為廣泛，例如工業4.0、物聯網底層感測元件、車聯網與人體感測等應用。
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| 關鍵字 |
逐漸趨近式類比數位轉換器 讀取電路 轉導電路 轉阻電路 壓電 加速規 微機電 摻雜 氧化鋅 濺鍍 |
| 備註 |
填表人聯絡方式:李承穎(材料與元件)0956065316，翁睿佟(電路)0973281756
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