Name: 使用介電層自聚焦式之離子束微影技術
Brand: Future Tech Pavilion, FUTEX未來科技館
SKU: P0008800000653

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具有主動緩釋放效應之陶瓷材料，其製造方法及包含此陶瓷材料之系統

先進大範圍晶圓檢測精密量測平台

技術名稱	使用介電層自聚焦式之離子束微影技術
計畫單位	國立臺灣大學
計畫主持人	-
技術簡介	能大範圍的做出小於10奈米的圖形
科學突破性	避開一般傳統光學系統所遇到的困難，以達到小於10奈米的微縮能力
產業應用性	未來尖端奈米科技需要小於10奈米的微縮製程
關鍵字

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