技術名稱 | 成長在石墨烯上之一維奈米結構以及元件應用 | ||
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計畫單位 | 國立臺灣大學 | ||
計畫主持人 | - | ||
技術簡介 | 利用石墨烯作為介面可使奈米線以垂直石墨稀面的方向成長,並且應用到不同基板上,以利元件整合製作。利用此技術可以在晶面方向的矽基板成長出奈米線並作成電晶體。 |
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科學突破性 | 利用石墨烯控制奈米線成長方向並且應用到不同基板方向上,以利元件整合製作。三五族奈米線成長方向為[111]B,直接於矽基板成長會受限於基板的晶面方向。在傳統(001)矽基板上將無法垂直成長。然而,在矽基板上貼上石墨稀二維材料後,三五族奈米線方向將與石墨稀平面垂直。可藉由石墨稀層去除基板方向的限制。因而 |
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產業應用性 | 半導體產業 |
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關鍵字 |