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未來科技館 基於深度學習的光刻電路失真預測，光罩修正及新穎布局圖樣偵測的設計自動化技術
本案所發明的半導體光刻製程電路失真預測自動化技術，包含了一個基於深度學習之光刻失真預測模型，一個光罩圖樣修正模型，和一個新穎佈局圖樣偵測模型。被預測的新穎佈局圖樣，除了可送回設計端重新檢視之外，亦可送入製程端產生實際成品後作為訓練樣本，以修正這些深度學習式網路模型，精進模型的效能。
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未來科技館 先進製程控制之決策型虛擬量測大數據分析技術
本技術能夠將從設備感測器所收集的大量數據並結合品質特性量測結果，透過一系列的資料工程以及機器學習與集成式學習技術，由數據驅動的角度進行自動化特徵擷取與定義，並對於未被進行品質量測產品提供一虛擬量測結果與預測信心分數，作為後續生產製程控制的決策基礎。
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