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    • 桌上型超快極紫外雷射

      電子與光電 未來科技展 桌上型超快極紫外雷射

      "清華大學光電工程研究所副教授陳明彰等人組成研究團隊與美、中、 西等國際團隊合作，近期突破學界多年來的瓶頸，成功創造出體積小卻更亮、更短脈衝的極紫外光(EUV)，且能任意調變偏振，能看見奈米級的微影世界，將加速半導體及生醫領域的奈米等級研究，其中高亮度的13.5nm的光源，正是下一世代半導體產業重要
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