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    • 晶圓級氣體感測器高效能點測系統

      AI與IOT應用 創新發明館 晶圓級氣體感測器高效能點測系統

      系統設備為整合光機電與真空系統技術，開發出於晶圓狀態可進行氣體感測器晶粒之高效能電性量測，於封裝前確認感測器功能，並篩除性能不合格的晶粒，可提高生產效能與產品競爭力。點測效能為現有市售設備的10倍以上
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