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    • 以光纖陣列為基礎之數位化滾筒模具的製造技術

      電子與光電 創新發明館 以光纖陣列為基礎之數位化滾筒模具的製造技術

      本技術結合數位光學處理技術、光纖與微透鏡陣列、精密伺服運動控制,形成一完整之「UV光筆陣列直寫」式的數位UV曝光系統,可以在一金屬滾筒模仁上製作出任意複雜圖型、細線寬、且無縫的微結構,完成一用於滾印製
    • 黃光微影覆蓋量測之抽樣與預測及增量學習模型之應用

      電子與光電 未來科技館 黃光微影覆蓋量測之抽樣與預測及增量學習模型之應用

      透過「微影覆蓋誤差量測的抽樣與預測」技術,降低誤差量測的成本與時間,以提高製程效率。經由分群技術與機增量學習模型演算法找出關鍵量測點,建立黃光覆蓋誤差量測點的減點演算法,並可因應產品客製化要求、晶圓種類繁複與樣本資料量測量少的問題,動態增量學習不同資料特徵,以達優化減點與降低成本之目標。
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