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    • 酮類吹氣式氣體感測器應用於居家照護檢測

      未來科技館 酮類吹氣式氣體感測器應用於居家照護檢測

      採用微機電製程技術、奈米感測材料、微加熱器系統等跨領域整合製造技術製作微小化感測器元件,其搭載藍芽功能、演算法與吹器裝置可監控患者呼吸時夾帶之酮類氣體的濃度數值,做為居家照顧診斷之用途。
    • 晶圓級氣體感測器高效能點測系統

      AI與IOT應用 創新發明館 晶圓級氣體感測器高效能點測系統

      系統設備為整合光機電與真空系統技術,開發出於晶圓狀態可進行氣體感測器晶粒之高效能電性量測,於封裝前確認感測器功能,並篩除性能不合格的晶粒,可提高生產效能與產品競爭力。點測效能為現有市售設備的10倍以上
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