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    • NEG非蒸發式吸氣材料 - 挑戰超高真空

      電子與光電 未來科技展 NEG非蒸發式吸氣材料 - 挑戰超高真空

      國輻中心以磁控漸鍍的方式製備非蒸發式吸氣薄膜(NEG film)，漸鍍薄膜的真空腔中經由活化後，可以在不需要幫浦的情況下保持超高真空(-10 Torr level)，其活化溫度依照不同製程條件可控制低於200 ℃。經活化後的吸氣劑薄膜吸附殘餘的氣體，可以達到所需的真空度。
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