技術名稱 | 因應超越摩爾時代之智慧終端微機電環境感測器集成 | ||
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計畫單位 | 國立清華大學 | ||
計畫主持人 | 方維倫 | ||
技術簡介 | (1) 空品感測中樞:將CMOS 溫/濕/壓/紅外線,與壓電PM2.5/噪音 感測晶片分別以系統單晶片(SoC)、與封裝系統 (SiP)進行模組整合。 (2) 水質感測中樞:重金屬離子 (系統整合、成立新創公司)。 (3) 光感測環境終端:SoC微型光譜晶片 (系統整合、成立新創公司) |
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科學突破性 | (1) 空氣感測中樞:利用TSMC等商用製程,開發多種感測晶片,並以SoC和SiP整合各種感測器實現空氣感測中樞。 (2) 水質感測中樞:III-V製程實現媲美儀器等級的水質感測器。並通過有效活性驗證。 (3) 光感測環境終端:SoC光譜晶片大幅縮小光譜儀之體積,並完成COVID-19 |
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產業應用性 | 本團隊已和國內半導體上中下游產業密切合作,其感測晶片,深具產業應用的潛力。其中溼度計、紅外線感測器、PM2.5等感測器已技轉及衍生產學計畫,並鏈結設計、製造、與封測公司。另外,重金屬與光譜感測晶片技術,已成功衍生兩家新創公司,其中微型光譜儀除了接到訂單,也協助國內防疫檢驗,堪為本計畫重要成就。 |
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關鍵字 | 環境感知中樞 空氣感知中樞 光感測環境終端 水質感知中樞 溫濕壓力計 紅外線 麥克風(噪音) PM2.5懸浮微粒 重金屬離子 光譜儀(水質、食品) |