本技術開發陰極電弧蒸鍍之可變電磁控弧源，並且在製程中結合電漿激發光譜分析OES進行即時製程檢測、分析與回饋，從而調整製程達到多元高熵鍍膜元素比例的控制，鍍製高附著強度之鋁鈦矽鉻釩鋯氮化物微型銑刀。此高熵合金複合薄膜銑刀具備高硬度及抗沾黏特性，有效改善刀具磨耗與提升加工效益，為刀具產業帶來創新的發展。

本技術利用陰極電弧沉積技術鍍製多元高熵合金薄膜，搭載新型電磁控弧源提升靶材利用率與離化率，同時結合電漿光譜分析進行即時製程檢測、分析與回饋自動控制。實際應用於玻璃纖維強化塑膠複合材料印刷電路板之高速切削時，本技術所設計製備之高熵合金複合薄膜銑刀具備高硬度及抗沾黏特性，有效改善刀具磨耗與提升加工效益。

本技術利用陰極電弧沉積技術鍍製多元高熵合金薄膜，實際應用於玻璃纖維強化塑膠複合材料之高速切削。經由印刷電路板切削測試，證實有效減少刀腹磨耗及提升刀具壽命。因此本關鍵技術能夠透過刀具鍍膜提升難削材的切削品質。本技術所設計製備之高熵合金複合薄膜銑刀具備高硬度及抗沾黏特性，有效改善刀具磨耗與提升加工效益。

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