國輻中心利用自主研發的雷射激發光陰極射頻電子槍系統和射頻電子束團壓縮的技術，建立了一套太赫茲超輻射自由電子雷射，它是目前國內峰值功率最高的太赫茲輻射源。另外，我們也以類似的技術為基礎，設計了一部極紫外光自由電子雷射測試設施。這些光源在半導體、量子材料及生醫等研究領域有重要的產業應用。

自由電子雷射可在微波至X光波長範圍內產生比第三代同步輻射光源更高亮度的電磁波，產生的數飛秒的超短光脈衝。國輻中心研究團隊成功建置了高峰值功率的超輻射太赫茲自由電子雷射，可用於許多尖端科學及產業應用研究。相關加速器技術可進一步應用到極紫外光和X光自由電子雷射上。

本主題所發展出來的高亮度超快電子束、直線加速器和太赫茲、極紫外光自由電子雷射等技術可望在超快電子顯微鏡、非破壞性檢測、材料加工處理及高端半導體製程等領域有重要應用。

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