射光斑定位技術，是中科院自行開發全球首創的精密定位技術，線性定位精度達奈米級，角度定位精度達弧秒級，是一種絕對式的定位方式，利用雷射光的同調特性將物體表面獨一無二的紋理清晰的解析出來，於任意加工機台上加裝雷射光斑定位器，將可大幅提升機台本身的定位精度，且由於表面紋理的特性，加工機具本身隨溫度產生的熱膨脹效應，亦可即時由表面紋理的變化計算出機台本身的熱膨脹量，作即時的補償修正，達到高精度的定位效能。這也是全球首創，獨一無二的表面熱膨脹精密觀察儀。這種超高精度的絕對式定位方式，可應用在多軸加工機、機器人手臂、同心度的校正、奈米製程等定位技術上。本技術除了是一種絕對式的定位裝置外，同時也可以應用在相對式的定位裝置上，目前開發一種高靈敏度的雷射光斑滑鼠，透過擷取的光斑影像，作移動中的光斑辨識，靈敏地掌握住滑鼠的每一動作。本技術目前已獲得美國、中華民國等專利。

雷射光斑定位技術是由中科院自行開發的一種雷射識別定位技術，透過雷射反應出物體的表面紋理，記錄下這些表面紋理圖樣作為影像資料庫，只要在識別區域範圍內，就能精確定位所在位置。

指紋光斑身分識別、高靈敏滑控系統、多軸加工機具、機器人手臂及奈米精密定位。