本技術採用一套改良式Tyman-Green干涉儀，結合自行開發的Matlab軟體，以二維快速傅立葉轉換法(FFT)處理干涉條紋，透過相位展開技術還原薄膜3D表面輪廓，並利用高斯濾波器濾除低頻雜訊，將相位函數轉換為三維表面輪廓分佈，再經由數值擬合分析測定表面曲率半徑值，可以測定均向性與非均向性光學薄膜的殘留應力。

各種薄膜材料的製程技術，均有殘留應力的產生，薄膜應力的分佈可能是均向性，也可能是非均向性，舉凡國內外的專利文獻資料，一般的檢測方法都是以薄膜均向性應力來考量，鮮少論述非均向性應力的量測方法。

本技術可應用在眼鏡片、光學元件鍍膜、太陽能面板、機觸控面板、光電子元件、半導體元件產品之薄膜殘留應力檢測，具市場發展潛力。