本技術可監控高真空系統中真空組件運作時，微粒生成數量與粒徑分布情形，透過微粒取樣與成分分析技術，了解其分布情形與產生來源；結合標準微粒檢測流程，提升分析之可靠度。分析數據可即時回饋予產品設計之修正依據，增進廠商研發新組件能力與縮短研發時程，提升在地廠商於需求市場之品質要求、產品可靠度與品牌信賴度。

-目前僅VAT(全球真空組件市佔率第一)對其生產之真空組件有類似測試系統，粒徑檢測範圍為10奈米-10微米。本技術為全台第一套真空組件微粒檢測系統，粒徑檢測尺寸最小可達 1 奈米；粒徑濃度最大可達 107 particles/cm3，並首次導入學研界建立之標準微粒取樣與檢測程序進行微粒分布與成分分析

本技術結合產、學、研三方研究能量，建立產業界設備自製及自主研發能力；未來更可串聯設備產業，帶動上下游關鍵元組件在地化發展，並導入產業供應鏈，落實設備產業及關鍵元組件自主化供應的目標，促使台灣產業競爭力升級。