氮化銦的成長在一般氮化物系統中，是屬於較難的技術。由於其晶格常數不匹配、銦元素的低熔點，用有機金屬化學氣相沉積系統是較為不易達成好的磊晶品質。故在過去，大部分的結果均是利用分子束磊晶的方式成長。我們在本技術中，利用系統性的研究方法，找出適合於有機金屬化學氣相沉積的條件，製備了氮化銦的奈米結構，包括點

本技術與國外相較，最主要的突破點是利用有機金屬化學氣相沉積系統來做氮化銦的奈米結構。有機金屬化學氣相沉積系統為業界通用的磊晶方式，相較於分子束磊晶，具備了成長速度快、多晶片成長等優點，為量產化的利器。

可應用於一般光通訊波段之光子偵測器，以及相關的感測器。搭配純熟的藍光綠光發光二極體，可以實現廣波段的偵測系統。