技術名稱 奈米級液態檢測模組
計畫單位 國立成功大學 (微奈米科技研究中心)
計畫主持人 陳引幹
技術簡介
"1.	可直接觀測分析各式液態樣品最真實的原始狀態,無需乾燥或冷凍樣品即可直接檢測,免除繁瑣耗時的處理步驟,更不會得到樣貌失真的檢測結果。
2.	搭配目前最高解析度之檢測工具電子顯微鏡,可進行奈米尺度之樣品形貌、尺寸、聚集狀況、成份特性、動態特性等分析。
3.	產品設計著重使用者便利性和工業需求,即
科學突破性
"隨高端工業製程演進,關乎產品品質及良率的奈米檢測日益重要,其中以濕製程所屬之液態樣品在檢測上最為棘手,亦因尺度日遽限縮,現有的光學量測儀器已無法提供有效檢測分析。電子束檢測技術可提供優於光學檢測的分析能力,然該技術無法直接於真空腔體內進行液態樣品或濕式製程之檢測,往往需經過複雜的前置處理,因此無法
產業應用性
"1.	不破壞實際樣品的真實環境下,將原液樣品導入所開發的液體檢測載台內,完成各種高解析度奈米影像可視化與成分的綜合分析;
2.	可取得樣品影像,進行分散性、均勻性分析與異常尺寸偵測,亦可進行高精準度之成份分析。
3.	快速上手,購置後可在短時間內熟悉操作,並直接與客戶原有的電子顯微鏡搭配使用。
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關鍵字
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  • 謝伯宗
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