"一種電磁波消磁裝置，包含：一感測單元，感測磁場之強度及方向；複數個數位產磁單
元；一類比產磁單元；以及一處理模組，連接該感測單元、該複數個數位產磁單元及該
類比產磁單元，並根據該感測單元所感測之結果，發出控制訊號以控制該複數個數位產
磁單元及/或該類比產磁單元產生不同單位的磁場強度，來消除該磁場之

廠房內的EMI來源複雜度高而且不易辨識，因此發展「降低磁場對廠房內部工作人員與生產儀器的影響，建構消磁智慧系統」，我們將利用三項創新的方法以降低極低頻電磁場：首先蒐集週邊環境參數與電源設備走線，我們利用電腦模擬電磁場分布，接著從來源的三相四線的電源線處理，將利用特殊設計之排列方式使磁場降低。最後開發

"目前半導體產業以10奈米製程為主流，半導體相關設備產業知悉極低頻(ELF)與非常低頻(VLF)磁場對於目前10奈米以下先進製程與檢測設備之製程良率有非常顯著的影響，故需要針對未來半導體相關設備清楚定義製程檢測或生產設備之EMI需求，其中以STEM 對EMI得要求最為嚴刻STEM的量測解析度高達0.