我們以黃光微影及低溫化學製程，製作具有高靈敏度之奈米複合材料氮氧化物氣體感測晶片，並建構一台可攜式氣體感測器。首先在矽晶片以黃光微影製作電極，然後以低溫化學製程，成長氧化鋅奈米線，再以光還原法，在奈米線表面成長金屬及金屬氧化物奈米結構。一個感測晶片上有兩個電極及奈米複合材料，利用紫外光活化感測模式，

我們製作了由金屬粒子、金屬氧化物及氧化鋅奈米線所組成的三元奈米複合材料，並應用於氮氧化物氣體感測。在大氣背景環境下，高靈敏度樣品可測到5 ppb NO2，響應約為20，與文獻記載的大氣環境下NO2氣體感測奈米材料比較，此實驗結果是非常好。目前文獻上，幾乎沒有三元奈米複合材料應用於氣體感測的論文，因

近年來空氣汙染是嚴重的課題，而人為產生的污染氣體中，NO2是指標性氣體之一，但目前環保署使用的檢測儀器，體積龐大要價不斐，若能製做價格便宜的小型氣體感測器，對環境與人體健康都有極大幫助。在目前商用小型氣體感測器中，NO2感測器較少，且一般靈敏度在1 ~ 0.1 ppm左右，我們開發的感測晶片及可攜式