奈米結構成長轉置新里程：新穎三維與二維形貌之石墨烯材料技術研發

2022 -02 -16

此研究是發明可以以晶圓尺寸製備的凡德瓦材料–新穎三維與二維形貌兩種石墨烯材料，用於成長與轉置高密度單晶氮化鎵奈米柱陣列。

奈米結構材料成長需要使用晶格匹配的特定基板，然而該成長基板並非元件材料最佳選擇，因此以往技術需要將該成長基板移除後，再將奈米結構轉置到終端元件基材上，但傳統技術難以成長高密度奈米結構，以及轉置時會有機率破壞到晶格的潛在問題。

本技術開發出大面積成長氮化鎵奈米柱並且低成本分離奈米柱與磊晶基板之技術，用以簡易、快速、大面積、低損傷的分離LED奈米結構與磊晶層，轉移LED晶粒到可撓式或功能性基材，可應用於MicroLED產業，解決目前業界使用分離LED晶粒與磊晶基板技術，可能會遇到轉置時對LED晶粒造成損傷缺陷，造成良率不佳，製程成本昂貴等問題。

此技術可以更簡易且最低損傷的分離奈米結構材料與成長基材，可成長的材料範圍涵蓋產業所需半導體材料，如可撓式元件、MicroLED、3DIC、奈米柱元件、垂直型二維材料光電元件等元件製備。兼具可撓性與透光性，具極大市場性。

技術傳送門：https://reurl.cc/OpRg0D
想了解更多? 看影片就對了：https://youtu.be/mISahM68twM
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