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電子與光電 未來科技展 NEG非蒸發式吸氣材料 - 挑戰超高真空
國輻中心以磁控漸鍍的方式製備非蒸發式吸氣薄膜(NEG film)，漸鍍薄膜的真空腔中經由活化後，可以在不需要幫浦的情況下保持超高真空(-10 Torr level)，其活化溫度依照不同製程條件可控制低於200 ℃。經活化後的吸氣劑薄膜吸附殘餘的氣體，可以達到所需的真空度。
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電子與光電 未來科技展 現場鏡面量測儀 - 奈米微測 即時校正
臨場大型X光鏡面量測技術中的長程鏡面量測儀(LTP)在全世界的許多同步加速器研究中心使用，可以用於測量X光鏡的面形和中頻粗糙度。測量過程精確、高速、非接觸，測量曲率半徑範圍可以從5 m至∞，能夠測量範圍內的表面輪廓面貌，縱向解析度為0.15 nm，未來可用於測量鏡面製作和安裝成果。
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醫材 未來科技展 早期急性腎損傷的現場快速檢測系統
本產品針對醫院的重症加護病房、手術室、腎臟科與心臟科等提供「早期急性腎損傷現場快速檢測系統」，可以取代傳統檢測時間的冗長繁瑣，在現場直接操作，只要一個步驟10分鐘立即檢測立即醫治，保命免洗腎。
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AI與IOT應用 創新發明館 晶圓級氣體感測器高效能點測系統
系統設備為整合光機電與真空系統技術，開發出於晶圓狀態可進行氣體感測器晶粒之高效能電性量測，於封裝前確認感測器功能，並篩除性能不合格的晶粒，可提高生產效能與產品競爭力。點測效能為現有市售設備的10倍以上
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