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    • 陰極電弧沉積高熵合金氮化物薄膜及微型銑刀應用

      未來科技館 陰極電弧沉積高熵合金氮化物薄膜及微型銑刀應用

      本技術開發陰極電弧蒸鍍之可變電磁控弧源，並且在製程中結合電漿激發光譜分析OES進行即時製程檢測、分析與回饋，從而調整製程達到多元高熵鍍膜元素比例的控制，鍍製高附著強度之鋁鈦矽鉻釩鋯氮化物微型銑刀。此高熵合金複合薄膜銑刀具備高硬度及抗沾黏特性，有效改善刀具磨耗與提升加工效益，為刀具產業帶來創新的發展。
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