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    • 先進製程控制之決策型虛擬量測大數據分析技術

      未來科技館 先進製程控制之決策型虛擬量測大數據分析技術

      本技術能夠將從設備感測器所收集的大量數據並結合品質特性量測結果，透過一系列的資料工程以及機器學習與集成式學習技術，由數據驅動的角度進行自動化特徵擷取與定義，並對於未被進行品質量測產品提供一虛擬量測結果與預測信心分數，作為後續生產製程控制的決策基礎。
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