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    • 黃光微影覆蓋量測之抽樣與預測及增量學習模型之應用

      電子與光電 未來科技館 黃光微影覆蓋量測之抽樣與預測及增量學習模型之應用

      透過「微影覆蓋誤差量測的抽樣與預測」技術，降低誤差量測的成本與時間，以提高製程效率。經由分群技術與機增量學習模型演算法找出關鍵量測點，建立黃光覆蓋誤差量測點的減點演算法，並可因應產品客製化要求、晶圓種類繁複與樣本資料量測量少的問題，動態增量學習不同資料特徵，以達優化減點與降低成本之目標。
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