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AI與IOT應用 未來科技展 可監控無人載具行為之無鉛壓電加速度感測系統
本團隊自行研發無鉛壓電材料，並結合MEMS製程技術，成功開發無鉛壓電MEMS加速規，該元件藉由震動使壓電薄膜產生形變，進而產生電荷，再由電荷輸出量推算加速度。後端電路SAR ADC之輸入訊號為電壓，因此必須將電荷轉換成電壓訊號，再送進逐漸趨近式的類比至數位轉換器轉換成數位碼。
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未來科技館 無人載具安全監控之無鉛壓電MEMS三軸加速規系統開發
本團隊建立材料摻雜技術使無鉛材料之壓電特性大幅提升，成功製備MEMS無鉛三軸壓電加速規，有別於以往MEMS三軸壓電加速規使用PZT含鉛材料，採用無鉛材料為全球首創之開發成果。此外本團隊亦整合感測器、後端電路及使用者介面，將加速規系統應用於無人載具之安全監控，成功整合物聯網時代所需的智慧整合感控系統。
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