本技術使用螢光奈米鑽石薄膜作為閃爍材料，能有效地吸收真空紫外與極紫外光，再放射出橘紅光，後端則配備透鏡組合導引螢光，並聚焦至同時具備有偵測與成像能力的可見光偵測器（如CCD）。原型光源成像器已經開發完成，具有平價、元件可快速替換、體積小且易於操作的特點，為全球首創，已獲得台灣與美國專利。

突破傳統，首創使用含有氮-空缺顏色中心並能發出橘紅色光的螢光奈米鑽石作為真空與極紫外光的光閃爍材料。結合新創的電灑法，將螢光奈米鑽石塗佈於導電玻璃上製成為均勻性佳且不潮解的薄膜，具有高解析的成像能力；與現有的光閃爍材料比較，螢光奈米鑽石的反應速度快，殘影量低，工作範圍廣，穩定性與耐久性都較高。

本技術的應用場域包括同步輻射設施與極紫外光微影製程，特別適用於光場的量測和準直。前者，它能夠幫助使用者調整真空/極紫外光的路徑，進行即時監控，取得光譜。後者，它可以用於觀察極紫外線的空間強度分布和模態變化，以進行雷射的調整或鏡面上汙染物的去除等。同時，它也可觀察遠場的繞射場型，以調整光罩圖案設計。