技術名稱 矽光子關鍵光源技術: 單晶整合矽基四族雷射
計畫單位 國立中正大學
計畫主持人 張國恩
技術簡介
本技術為CMOS相容之單晶整合之IV-IV族矽光子雷射,採用低溫材料成長搭配Ge緩衝層技術,成功突破物理極限在矽基板上成長出高Sn含量的直接能隙GeSn材料,並進一步整合波導共振腔開發成雷射,最終我們達成光激發下的雷射輸出,將能作為創新矽光子晶片之重要光源,並拓展到各種前瞻新興矽光子應用。
科學突破性
本技術科學突破性為突破傳統IV-IV族無法發光的先天性物理限制,開發出矽光子矽基IV-IV族雷射。重點突破為利用低溫材料成長搭配Ge緩衝層技術,突破Sn在Ge中1的溶解度極限,成功成長出高Sn含量的直接能隙GeSn材料,並成功量測到窄線寬(~3nm)、低閥值(~50 kW/cm2)的雷射輸出。
產業應用性
本技術可作為矽光子晶片的on-chip雷射光源,以開發極致微縮、多功能性的矽光子晶片,可應用的對象包含光纖通訊、生醫檢測、光學雷達、氣體感測、量子計算等,具有廣大的應用性,以每個矽光子晶片可能都至少一個on-chip雷射光源的需求,故本技術對於矽光子技術而言具有非常大的需求,能創造極大的經濟效益。
關鍵字 矽光子技術 雷射 四族半導體材料 CMOS相容 紅外線
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  • 楊家慧
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